Stocker

产品特征

  • 可客制化存储产品 (RSP、POD、FOUP) 以及储位数量

  • 自动感应 & 读取

  • MES 命令或本地终端操作

  • 位置视觉识别 & 对准

  • XCDA/N2 purge 可选


序号存储产品Stock 类型
1RSP旋转塔式 / 阵列式
2POD阵列式 / 跨层式
3Box阵列式
4Mask Case旋转塔式
5FOUP阵列式


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