RSP Purge Station

产品特征

  • 具备 XCDA/N2 purge 功能

  • 满足少量特殊光罩 purge 需求

  • 抽拉式存放和拿取,操作方便

  • 与 MES 系统对接,信息实时交互

  • 可快速部署

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