产品特征

• 总存储容量2100裸MASK@2000*2000*3200(W*D*H)

• ID获取方式-RSP ID: RFID&Barcode; OCR: Mask ID

• 人工/OHT放入闲置窗口，自动开盒

• 拿取方式-MCS命令或本地终端操作

• 机台腔体洁净度：Class 1

• MASK储位及取放查询功能

• MASK particle 检测---Option

• 内部氧气含量监测---Option

• 入口处离子风刀去除MASK上的静电及particle---Option