产品特征

• 符合 SEMI 标准

• 软件 + 硬件 & 结构自研

• 优化的性能改善

• 完全兼容的指令集，能快速 Hookup& 上线

• 多家 FAB 厂导入，成熟的产品和服务团队

• 多机台对接经验 + 多使用场景安装经验

• 可兼容 6/8 寸线

• E84 功能预