天车上下料

产品特征

  • 采用E84+工控机控制

  • 友好界面,操作简单

  • 双储位,自动识别Carrier ID

  • 用于天车与人工搬运FOUP之间的中转

  • 设备带N2 purge功能,保证FOUP内洁净度

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