Cn 
EFEM
产品特征
支持载具：FOUP/FOSB
可对接天车和AGV
支持LP数量:2~4
FOUP信息读取：支持，兼容RFID&barcode
配置校准器、离子棒、陶瓷机械手臂
可定制软件和功能
相关产品
遇到问题？与我们取得联系
您有任何问题和意见都可以通过联系表单或0573-84069886与我们联系。
支持载具：FOUP/FOSB
可对接天车和AGV
支持LP数量:2~4
FOUP信息读取：支持，兼容RFID&barcode
配置校准器、离子棒、陶瓷机械手臂
可定制软件和功能
您有任何问题和意见都可以通过联系表单或0573-84069886与我们联系。