测量精确至 10um
兼容性强，可兼容 4”/6”/8”CST 尺寸测量
自动化测量 CST 尺寸，效率高，测量 90 个点仅需 3 分钟
可设定多个 Recipe 且自动导入
可实现 CST 关键参数精准检测
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