产品特征

• FOUP ID读取

• 自动测量FOUP&FOSB尺寸

• 支持mapping功能

• 支持 SEMI E84&SECS/GEM 通信

• 测量数据的自动保存与上传

• 配置CCTV系统，时刻监视设备运行状态

• 设备报警功能

• 配置安全光栅，确保人员安全

• 登陆人员权限管理功能

• 可自由创建recipe