自动水冲洗 + 热气吹干 + 红外加热器烘干
适用于 2-12 寸 Cassette、Box、RSP,FOUP 清洗
清洗腔采用圆筒布局,立体悬挂载物装置,旋转甩干
多 Receipes 和参数设置,友好界面,易学易用
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